一、產(chǎn)品介紹

激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一。它使用邁克爾森干涉系統(tǒng)的一般長度來測量已知長度的激光波長。除測量長度外，激光干涉儀還可用于測量線性位置、速度、角度、線性位置、速度、角度、平行度、平行度和垂直度，可用于精密工具機或測量儀器的校正。

二、工作原理。

角錐反射鏡緊密固定在分光鏡上，形成固定長度的參考光束。另一個角錐反射鏡相對于分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

激光頭發(fā)射的激光束(1)頻率單一，稱為0.63μm，長期波長穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)光束到達偏振分光鏡時，分為兩束光-反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在激光頭嵌入的探測器中形成干涉光束。

如果不改變兩個光程之間的差值，探測器將在相長干涉和相消除干涉之間的某個位置觀察到一個穩(wěn)定的信號。如果兩個光程之間的差值發(fā)生變化，探測器可以觀察到相長干涉和相消除干涉之間的信號變化。這些變化（條紋）用于計算兩個光程之間的變化。測量長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。

需要注意的是，激光波長取決于光束通過的空氣的折射率。由于空氣折射率會隨著溫度、壓力和相對濕度的變化而變化，因此這些環(huán)境參數(shù)的變化可能需要通過計算測量值的波長來補償。在實踐中，只有線性位移（定位精度）測量需要補償技術(shù)指標(biāo)中的測量精度。在這種情況下，兩束光的光程差可能會發(fā)生很大的變化。

波長補償

線性定位測量精度取決于已知的激光波長精度。這不僅與激光器的穩(wěn)定頻率精度有關(guān)，還與周圍的環(huán)境參數(shù)有關(guān)。特別是溫度、氣壓和相對濕度會影響激光束（在空氣中）的波長。

無需補償波長變化，激光線性測量誤差可達50ppm。即使在溫度受控的房間里，每天都有空氣。

壓力的變化也會使波長變化超過20ppm。作為參考，以下環(huán)境條件的變化會導(dǎo)致大約1ppm的誤差：

空氣溫度1C(1.8°F)。

空氣壓力3.mbar(0.098inHG)。

50%相對濕度(20°C)。

30%相對濕度(40°C)。

注意：這些值在壞條件下具有影響值，且不完全受其他參數(shù)值的影響。這些誤差可以通過埃德倫公式來減少。