氦氖(HeNe)激光器是首先實(shí)現(xiàn)激光振蕩輸出的氣體激光器。HeNe激光器輸出的是Ne的光譜線，在可見和紅外波段有多條，其中最強(qiáng)的是0.6328μm、1.15μm 和3.39μm 三條譜線。我們可以采取一些方法去抑制其中的兩種，而使我們所需要的一種波長的激光得到輸出。632.8nm（紅光）因輸出為可見波段的激光，實(shí)際應(yīng)用較為廣泛。

由于HeNe激光束具有單色性和方向性好,輸出功率和波長能夠控制得很穩(wěn)定，并且結(jié)構(gòu)簡單、造價(jià)低廉等優(yōu)點(diǎn)，因而廣泛應(yīng)用于精密計(jì)量、檢測、準(zhǔn)直、信息處理，以及醫(yī)療、光學(xué)實(shí)驗(yàn)等多個(gè)方面。

HeNe激光器是玻璃管狀結(jié)構(gòu)，玻璃是氣密性非常優(yōu)良的材料。HeNe激光器是一種小功率激光器，放電管長十幾厘米的激光器輸出功率為毫瓦上下，放電管長1~2m 的激光器輸出功率可達(dá)幾十至百毫瓦。HeNe激光器是放電激勵(lì)的氣體激光器的典型代表，它的工作過程、制造工藝和設(shè)計(jì)器件的方法對其他氣體激光器都有參考意義。

單頻激光干涉儀使用單頻激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)進(jìn)行穩(wěn)頻。由于兩縱模的頻率間隔約為1GHz，超出了信號(hào)處理器的細(xì)分運(yùn)算能力，故其中一個(gè)縱模的激光會(huì)由偏振片舍棄，測量過程中實(shí)際只使用通過偏振片的單縱模激光。最終采用零差干涉原理（調(diào)幅）進(jìn)行測量。

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