根據(jù)《雙頻激光干擾儀系統(tǒng)誤差概述》，雙頻激光干擾儀系統(tǒng)誤差大致由儀器誤差、幾何誤差（或安裝誤差）和環(huán)境誤差組成。在這三個(gè)誤差中，幾何誤差主要與光路調(diào)試和光程大小有關(guān)，一般從幾十納米到幾百納米；環(huán)境誤差幾乎與測(cè)試的環(huán)境參數(shù)（溫度、壓力、濕度等）成正比，通常達(dá)到幾十納米到幾微米；儀器誤差主要是指雙頻激光干擾儀器本身的誤差，一般可通過(guò)靜態(tài)噪聲進(jìn)行評(píng)價(jià)。雙頻激光干擾儀器的儀器誤差可控制在2nm以下（3Sigma）。

下圖為四軸干涉儀和五軸干涉儀的測(cè)試結(jié)果。測(cè)試條件如下：

1、安裝四軸干涉儀和五軸干涉儀VC-E減振器上。

2、光路溫度波動(dòng)控制在0.01℃以下。

3、采用1024細(xì)分VME系統(tǒng)分辨率為0.15nm。

4、采樣頻率2KHz，連續(xù)取樣5分鐘matlab計(jì)算其3sigma值。